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我國電子工業部高純水水質試行標準

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我國電子工業部高純水水質試行標準化學指標單位:
μg/L
 

我國電子工業部高純水水質試行標準化學指標單位:μg/L
序號 水質項目 一級高純水指標 二級高純水指標
1 電阻率(25℃)MΩ·cm ≥15 ≥10
2 電導率,μs/cm 0.05 0.1
3 PH值 6.8~7.2 6.6~7.4
4 細菌總數,個/mL <3 <9
5 微粒(直徑>0.5μm,粒/mL) <150 <300
6 二氧化矽 <10 <20
7 有機物(以COD計) <0.3 <0.5
8 鈉 Na <0.5 <2
9 鐵 Fe <1 <2
10 銅 Cu <0.5 <1
11 鈣 Ca <1 <3
12 鎂 Mg <0.2 <1
13 鋅 Zn <0.5 <1
14 錳 Mn <0.2 <0.5

說明:①一級高純水適用於大規模集成電路,微波器件以及有相同要求到半導體器件產品。   ②二級高純水適用於一般電路,分立器件以及有相同要求的半導體器件產品。   ③本表按1980年電子工業部標準摘錄。